鉆石:下一代終極功率半導體的希望?
過去數(shù)十年,電力電子領域經(jīng)歷了從雙極型晶體管、MOSFET到碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)等寬禁帶半導體的變革,每次革新都帶來性能、效率的提升與系統(tǒng)微型化。如今,我們站在新的門檻前——合成金剛石有望推動功率器件效率向99.99%邁進,這對電力電子工程師而言是激動人心的突破。

圖1:材料特性決定性能
鉆石用于半導體是否現(xiàn)實?
鉆石傳統(tǒng)上與珠寶、工業(yè)研磨、切割或?qū)嶒炇腋邏簩嶒炏嚓P,似乎與電力轉(zhuǎn)換系統(tǒng)或射頻放大器無關。但科學界早已認可其優(yōu)異的散熱性,遠超硅等傳統(tǒng)材料。不過,鉆石的硬度和加工復雜性曾阻礙其在半導體領域的應用。
鉆石的技術應用始于1954年通用電氣用高溫高壓法合成首顆人造鉆石,20世紀80年代化學氣相沉積(CVD)法用于合成金剛石,90年代探索摻雜工藝。如今,材料科學與制造技術的進步正讓合成金剛石成為未來半導體的有力競爭者。
技術演進的階梯
電力電子技術的發(fā)展像階梯,每次突破推動新技術走向市場。金剛石半導體可能是下一個階段,盡管有人認為挑戰(zhàn)巨大。SiC和GaN的成功也非一蹴而就:90年代末SiC功率二極管價格高、制造難、可靠性存疑;GaN先用于射頻領域,后成為高效功率晶體管,應用于快速充電器、數(shù)據(jù)中心電源等。
硅技術成熟且持續(xù)改進,但SiC和GaN因行業(yè)對更高電壓、效率、開關頻率的需求而成功,縮小了設備尺寸。如今,SiC和GaN廣泛應用于電動汽車、太陽能逆變器等,降低了設備的尺寸、重量和功耗。GaN在高頻開關領域有優(yōu)勢,SiC在中高壓范圍取代IGBT和硅MOSFET。但兩者存在局限性,高溫惡劣環(huán)境下的應用需要更高性能和穩(wěn)定性,而鉆石的特性恰好能滿足。
鉆石的優(yōu)勢
材料的物理性質(zhì)決定其在高功率、高頻或高溫應用中的性能。對比硅、SiC、GaN和鉆石的四個關鍵參數(shù):
一、帶隙
帶隙衡量導電能力,寬禁帶意味著更強的抗漏電和抗擊穿能力。鉆石的帶隙達5.5 eV,遠超其他材料,可在更高電壓和溫度下工作。
二、擊穿場強
擊穿場強是材料抵抗電應力的能力,對高壓器件至關重要。鉆石的理論臨界電場強接近10 MV/cm,是GaN或SiC的三倍、硅的30多倍。相同額定電壓下,器件可做得更薄,降低電阻、提高效率,為10 kV、20 kV甚至50 kV的器件鋪路,有望改變高壓直流輸電、電氣化鐵路和并網(wǎng)能源系統(tǒng)。
三、電子遷移率
電子遷移率影響電子開關和信號傳播速度。GaN和鉆石的電子遷移率相近,但鉆石器件飽和速度更高,可實現(xiàn)極快的開關速度、極低的導通電阻和更低損耗,將開關頻率推向新高,進一步縮小磁性元件尺寸。
四、導熱系數(shù)
導熱系數(shù)衡量傳熱能力,高導熱系數(shù)對散熱至關重要。鉆石的導熱系數(shù)高達20 W/cmK,是已知材料中最高的,散熱能力卓越。其無與倫比的散熱能力可使器件在超過400°C的溫度下穩(wěn)定運行,實現(xiàn)更緊湊、堅固的系統(tǒng),尤其適用于航空航天和高溫應用。
當前發(fā)展階段
金剛石半導體尚未主流化生產(chǎn),但過去十年在CVD合成技術上取得顯著進展,可制備大面積、超純的單晶金剛石晶片。實驗室已成功演示金剛石肖特基二極管和功率場效應晶體管,但全面商業(yè)化受成本、缺陷密度、摻雜控制和可擴展性限制。不過,最新研究成果令人振奮。
回顧SiC和GaN的發(fā)展,如今金剛石半導體正邁向預工業(yè)化階段,構建支持未來商業(yè)產(chǎn)品的生態(tài)系統(tǒng)。以下是日本和法國(歐盟)的部分杰出項目:
一、日本
佐賀大學研究團隊開發(fā)出金剛石n溝道MOSFET晶體管。福島第一核電站停運后,2012年啟動項目開發(fā)能在高輻射環(huán)境下運行的金剛石半導體,由AIST、JAEA、北海道大學和KEK等機構合作。北海道大學和AIST聯(lián)合創(chuàng)辦的大熊金剛石器件株式會社建立了垂直整合制造系統(tǒng),開發(fā)的差分放大器電路可在300°C下長期穩(wěn)定運行。2025年初,AIST與本田合作制造出氫端金剛石MOSFET原型,實現(xiàn)安培級高速開關操作,計劃應用于下一代移動電源設備。

二、歐洲
歐盟“地平線2020”計劃下,法國CNRS協(xié)調(diào)的“基于金剛石功率器件的綠色電子技術”項目組建聯(lián)盟,探索金剛石技術。法國公司Diamfab由CNRS下屬Néel研究所人員創(chuàng)立,開發(fā)肖特基二極管和MOSFET等元件。CNRS內(nèi)爾研究所、LAPLACE實驗室與Diamfab合作設計的金剛石JFET實現(xiàn)50 mA創(chuàng)紀錄體電流傳導,器件具有14.7 mm柵極尺寸和24個平行指狀結構,是真正可用的器件。


愿景:鉆石將引領我們走向何方?
想象效率99.9%、開關頻率1 MHz且無需笨重冷卻系統(tǒng)的電動汽車逆變器,超緊湊型太空電源模塊,或100 kV智能電網(wǎng)——這些愿景雖超前,但25年前的SiC/GaN也曾如此。未來二十年內(nèi),鉆石半導體有望成為超高功率、高可靠性應用的首選平臺。各國政府和企業(yè)正加大投入,將其視為戰(zhàn)略技術。
材料決定半導體的極限,鉆石重新定義了這些極限。盡管商業(yè)化還需數(shù)年,但鉆石的性能上限不容忽視。隨著電力電子對更高效率、電壓和更小尺寸的需求增長,業(yè)界需密切關注這種材料。正如從硅過渡到SiC和GaN推動了電動汽車和可再生能源的突破,鉆石作為碳的最堅硬形式,可能成為終極功率半導體平臺。
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